Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2014»
Информационное сообщение
Международная конференция "Микро- и наноэлектроника – 2014" (ICMNE-2014), включающая расширенную сессию "Квантовая информатика – 2014" (QI-2014), будет проводиться с 6 по 10 октября 2014 г. в д/о "Ершово", Звенигород, Московская обл. Она продолжает серию Всероссийских конференций "MНE-1999", "MНE-2001", "КИ-2002" и международных конференций "ICMNE-2003", "QI-2004", "ICMNE-2005", "QI-2005", "ICMNE-2007", "QI-2007", "ICMNE-2009", "QI-2009", "ICMNE-2012", "QI-2012".
В рамках конференции будет проводиться выставка диагностического и технологического оборудования для микроэлектроники.
Рабочий язык конференции ICMNE-2014 - английский.
Тематика:
Материалы и пленки для микро- и наноэлектроники:
- КНИ, Si, SiGe, A3B5, A2B6
- Тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики
- Материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов
- Магнитные материалы, наномагнетики
- Нанотрубки, графен
- Материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы
Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:
- Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт
- Плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники
- Ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная
- Процессы CVD, молекулярная эпитаксия
Метрология:
- Методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов
- Методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур
Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:
- Нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные, тонкопленочные и другие
- Интегральные устройства памяти, мемристоры
- Магнитные микро- и наноструктуры
- Приборы спинтроники
- Сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства
- Приборы оптоэлектроники, фотоники
- Микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS)
Моделирование:
- Моделирование технологических процессов
- Моделирование микро- и наноэлектронных приборов
КНИ и низкоразмерные структуры:
- Технология и эксперименты
- Приборы
- Теория и моделирование
Квантовая информатика:
- Квантовые компьютеры: теория и эксперимент
- Квантовые измерения
- Квантовые алгоритмы
- Квантовая связь
Оргкомитет ICMNE-2014 приветствует доклады, присланные от академического сообщества, университетов, промышленности. Программный комитет будет оказывать предпочтение докладам, содержащим результаты последних оригинальных исследований, соответствующих тематике конференции. Тезисы доклада и полные тексты для публикации в SPIE должны быть написаны ясным и лаконичным английским языком.
Файлы тезисов докладов на ICMNE-2014 направлять по адресу icmne2014@gmail.com.
Последний срок отправки тезисов 1 августа 2014.