Спектрометр ферромагнитного резонанса
КРАТКАЯ ХАРАКТЕРИСТИКА ОСНОВНЫХ ТЕХНИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ
Спектрометр позволяет измерять на любом локальном участке магнитной пленки величину и направление поля анизотропии, намагниченность насыщения, константу магнитострикции, резонансное поле и ширину линии ФМР на выбранной частоте рабочего диапазона. Он позволяет также наблюдать характер намагничивания и перемагничивания локального участка ТМП, измерять величину магнитного гистерезиса, снимать распределение неоднородностей всех измеряемых величин по площади металлических и диэлектрических магнитных пленок размерами до 45х45 мм2.
Степень локальности измерений - в пределах 0.3-2.5 мм, и определяется диаметром измерительного отверстия СВЧ датчика. Прибор обладает высокой чувствительностью благодаря использованию в датчике микрополоскового резонатора, изготовленного на подложке с большой диэлектрической проницаемостью. Спектрометр имеет набор сменных измерительных головок, перекрывающих диапазон частот 0.1-5.0 ГГц, со встроенными датчиком и СВЧ генератором. Отношение сигнал/шум головок, измерянное для пермаллоевой пленки толщиной 10 нм, не менее 10. Для работы со слабыми сигналами, например в случае очень тонких магнитных пленок (толщиной менее 10 нм), предусмотрена возможность накопления сигнала. Управление спектрометром осуществляется специализированной программой, работающей в диалоговом режиме.
ОБЛАСТИ ВОЗМОЖНОГО ИСПОЛЬЗОВАНИЯ
Автоматизированный спектрометр позволяет регистрировать спектры поглощения СВЧ мощности на локальных участках тонких магнитных пленок (ТМП), и предназначен для исследования локальных физических свойств пленочных магнитных материалов. Спектрометр может использоваться также для контроля качества магнитных пленок и покрытий в процессе их производства или при отладке технологии изготовления.
СТЕПЕНЬ ГОТОВНОСТИ РАЗРАБОТКИ К ПРАКТИЧЕСКОМУ ПРИМЕНЕНИЮ
Выпущены образцы, прошедшие опытную эксплуатацию. Имеется возможность мелкосерийного производства прибора.
ВОЗМОЖНЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ И (ИЛИ) ЭКОНОМИЧЕСКИЙ ЭФФЕКТ ОТ ВНЕДРЕНИЯ РАЗРАБОТКИ
Возможность контроля качества и основных эксплуатационных характеристик магнитных покрытий в системах хранения информации, в условиях, близких к эксплуатационным. в отличие от традиционно применяемых (напр., электронной микроскопии) не требующая вакуумирования.
СРАВНИТЕЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ С ИЗВЕСТНЫМИ РАЗРАБОТКАМИ
Впервые осуществлено получение спектра ФМР от локального участка магнитной пленки. В отличие от традиционно применяемых методик контроля локальных магнитных параметров пленок, (напр., электронной микроскопии) не требуется вакуумирование образцов, что существенно сокращает время анализа.
СВЕДЕНИЯ О ПАТЕНТОСПОСОБНОСТИ И ПАТЕНТНОЙ ЗАЩИТЕ РАЗРАБОТКИ
А.с. № 1500105.