Тарасов Иван Анатольевич. Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста
Диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук. Специальность 01.04.01 - приборы и методы экспериментальной физики
Развитие методики эллипсометрического контроля параметров наноструктур Fe/Si в процессе роста
Диссертация размещена на сайте 20.06.2014